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高精度匀胶机旋涂仪
高精度匀胶机旋涂仪
产品型号:TB-616
产品编号:TC-015495
产品介绍 技术文档 相关产品 如何购买
高精度匀胶机旋涂仪 型号:TB-616
产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。
主要特点:
       *TB-616高精度匀胶机旋涂仪高精度多程序控制器:
TB-616高精度匀胶机旋涂仪 可设定存储7个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
TB-616高精度匀胶机旋涂仪 每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的速度状态;
TB-616高精度匀胶机旋涂仪 液晶显示屏可以实时显示:
1.     第N个涂敷工艺过程
2.     所处工作段
3.     真空吸片状态。
4.     设置时间;及实时运行时间。
5.     设置速度;及实时速度状态。
            中英文两套操作系统供选择。
          人机交互式对话,简洁,明了。
 *TB-616高精度匀胶机旋涂仪器空吸片系统更安全:
TB-616高精度匀胶机旋涂仪安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
       *TB-616高精度匀胶机旋涂仪 变频调速电机,转速精度更高:
 300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
Z高转速10000转/分
技术参数:
        TB-616高精度匀胶机旋涂仪 单相交流电源:220V.50Hz
        TB-616高精度匀胶机旋涂仪 电机功率:150W
        TB-616高精度匀胶机旋涂仪 旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)
                    可选择配置: 基片直径10—150mm可接受订货。
        转数:300 - 10000 转/分。
可设定时间:1---9999秒。
标准包装:
结构尺寸: 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高 , 
可选配件 1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、70升/分无油真空泵
     *TB-616高精度匀胶机旋涂仪 不锈钢机壳  NPP材质工作腔   
         不锈钢机壳,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
        TB-616高精度匀胶机旋涂仪  NPP材质工作腔。
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